南京天车

admin 2025-11-12 阅读:3 评论:0

○ 天车是什么东西？对于不熟悉半导体领域的人来说，它是一个显得陌生的名词。而对于熟悉半导体领域的人来说，它是一件让人艳羡的神器。○ 表面上，它只是用来搬运大尺寸晶圆的运输车，以及背后...

○ 天车是什么东西？对于不熟悉半导体领域的人来说，它是一个显得陌生的名词。而对于熟悉半导体领域的人来说，它是一件让人艳羡的神器。

○ 表面上，它只是用来搬运大尺寸晶圆的运输车，以及背后的一套运输系统。但实际上，它的复杂和精细程度远超想象，这个看似简单的搬运系统，是半导体晶圆厂中一项至关重要的技术创新，堪称晶圆厂的“大动脉”。

○ 当前在全球范围内，天车系统99%被日本大福和村田两家公司垄断。大多数国内厂商与国际产品有较大差距，核心关键基本外采。基本没有一家能拿出高端产品来对标日系。

○ 但中国人就是不服输，眼下在南京江宁区，已经有一家公司悄然崛起，这家公司名叫江苏道达智能科技有限公司（以下简称“道达智能科技”）。国内唯一交付客户5.3米/秒的国产半导体OHT天车，核心指标比肩国际一流，这就是他们的底气。在国际厂商垄断的铁门上，已经能看到希望的光亮了。

天车为什么长期被国际厂商垄断

○ 因为它确实过于先进了。AMHS系统，又称天车系统，随着晶圆厂产能规模扩大、工艺流程复杂化以及对洁净度的极致要求，不占地面空间、在车间上空轨道上运行的天车方案逐渐成为行业标配，用以满足高产能、高稳定、高洁净室的需求。

○ 五个特点：路网密，0.5平方公里面积里，轨道上的速度超过50码，相当于1.2倍的马拉松速度；交通忙，头顶上一般要跑着2000+台天车，日搬运晶圆数量超过1300万片，相当于1.3倍的上海地铁日客流量；速度快，每秒5.3米的高速直行，1米/秒的转弯速度，10秒内完成4米的升降取物操作；指标精，行走定位精度正负1mm，洁净等级达到Class 100；价值高，每台天车价值相当于一辆宝马7系，搭载的晶圆价值数十万到数百万元。

○ 所有这一切叠加在一起，导致天车系统成为半导体自动化领域最复杂的控制系统，堪称L5级的无人驾驶。这也直接导致了一个结果：天车，是目前国产半导体领域唯二的还没有上市企业的装备，还有一个就是光刻机。

○ 要打破这种国际厂商垄断的局面，没有其他办法，最重要的就是修炼好自己的内功。

国产天车系统的里程碑

○ 道达智能科技，诞生于2017年，总部位于南京江宁区。因为原来就是做工厂自动化，他们比其他人更早看到了天车市场的机遇。

○ 为了把更多的地方、更多的精力投入到研发中，他们的办公楼出乎意料地简朴，办公场地都让给了600米的全场景测试轨道，国内最大。

○ 他们最新研发的“麒麟”天车，把看似相悖的三要素有机结合——快、稳、准，在5.3米/秒的行进速度下，把刹停的振动控制在0.3G以下，同时精准对接送料口，误差不能超过1mm。这相当于把一辆L5级别的无人驾驶汽车放在天上开，车里载着当下最薄最脆的晶圆，依次通过2000道工序。先是拿下了江苏省潜在独角兽，省专精特新，最近又拿下了国家专精特新“小巨人”。

○ 当然，技术过硬只是首要条件，这个行业还有一个潜规则，也是国际厂商长期垄断的一个“秘密”。晶圆厂采用7×24小时不间断生产模式，通常部署有几百台天车，大型晶圆厂单日搬运频次约40万次甚至更高。如此高强度、高密度的运行环境，晶圆大厂最关心的只有两个字：稳定。也就意味着，一旦采用了哪家的天车系统，轻易绝不会更换。这就是壁垒，也是所有国产天车厂商必须面对的一个生存困局。

○ 道达智能科技没有一味等待，而是在武汉打开了局面。投资超200亿元的长飞先进武汉基地，主要聚焦于第三代半导体功率器件研发与生产，道达智能科技已经实现量产交付，轨道长度3500米，天车数量150台，在跑的有70台。数量不算大，意义却很大。它是当前国产供应商在前道晶圆制造厂的最大体量整厂区域AMHS交付项目，其中无论天车数量、轨道长度、整厂全区域均是国产天车系统的里程碑。

○ 其实凭道达智能科技目前的能力，WPS非接触式供电系统，OHT厂商唯一自研量产，OHT自主实时系统，FPGA实现核心软件控制算法，大规模集中控制系统能实现超过1000台天车的集中控制调度，以及毫秒级的路径规划，他们完全可以做更多的事情。只是需要一个开始，只是需要一个机会，以及更多的时间。所幸，这一切正在实现。

一台机器人能被“玩”出花

○ 从一辆跃跃欲试挑战巨头的天车，再来看看南京江宁。天车，其实本质上就是特种机器人。而南京江宁，偏偏就是机器人产业强得令人侧目。

○ 在江宁，一台机器人能被“玩”出花：既有埃斯顿（7年中国市场国产品牌出货量第一）、汇川技术（年产40万台/套机器人）两大行业龙头，更有一批单项冠军、“小巨人”、瞪羚、独角兽等“小而精”企业各显神通。

○ 泉峰科技的除草机器人、领鹊科技的建筑机器人享誉市场；南传智能投资建设关节减速机生产项目，预计年产RV齿轮箱6万台；神源生科技凭借一块六维力传感器，获得科技部子基金的融资；因克斯去年的机器人关节模组出货量超过1万台，领跑国内同行……江宁还有省工业机器人及智能制造系统工程研究中心等机器人相关领域的省级研发创新平台14个、新型研发机构3家，区域内几大头部高校基本开设相关专业。

○ 也正是因为这个原因，2022年，靠做工业控制软件起家的道达智能科技走出待了5年的昆山，来到江宁设立总部，并在这里完成产品转型，向价值链更高处攀登，新一代的“麒麟天车”正是在南京原生研发。